Zur allgemeinen Beruhigung: Die Sensoren sind für max. 1,2bar Betriebsdruck spezifiziert, allerdings gibt es folgendes Problem:
Wenn der Messbereich stark überschritten wird, so kommt es zu einer Verformung die den Kalibrierwert des Sensors beeinträchtigt. Zerstört ist erst einmal nichts, aber die Messung ist nicht mehr präzise. Dies kann man nun natürlich mit der internen Kalibrierung wegkalibrieren, aber die Membran wird sich der ursprünglichen Form bei den nächsten Zyklen wieder annähern, so dass man mehrmals kalibrieren muss. Wir messen hier im Bereich von 0,00001 bar, es sind also sehr präzise Toleranzen einzuhalten. Nach einem Tag Betrieb ist dieser Effekt in jedem Fall wieder vorüber und der Kalibrierwert stabil.
Also: Direkt defekt ist so schnell nichts, aber die Messung wird danach für eine Zeit unpräzise. Dieser Efffekt tritt aber auch erst bei einer deutlichen Überschreitung (z.B. 200l/h mit mps 100) auf und ist dann nur temporär bis die Membran und das Gehäuse wieder die alte oder eine stabile Form eingenommen haben. Was nicht geht, ist z.B. 500l/h durch einen mps 100. Dabei kann der Sensor wirklich Schaden nehmen. Er wird zwar noch grob funktionieren, aber nicht mehr genau sein. Der gemessene Druck am Sensor steigt quadratisch mit dem Durchfluss. Daher ist ein doppelt so hoher Durchfluss als spezifiziert schon der vierfache Druck an der Membran. Würde man 400l durch einen mps 100 pressen, so hätte man den 16fachen Differenzdruck als spezifiziert und damit einen Druck vn 650mbar an der Membran. Das wäre ein Problem.