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Aus den Quartalszahlen

ASML liefert erstes EXE:5200B High-NA-EUV-System aus

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ASML liefert erstes EXE:5200B High-NA-EUV-System aus
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ASML hat die Zahlen für das zweite Quartal 2025 veröffentlicht und verbucht darin einen gleichbleibenden Umsatz und Gewinn. Mit 7,7 Milliarden Euro fällt der Umsatz genauso hoch aus wie im ersten Quartal. Auch der Gewinn ist mit 2,3 Milliarden Euro auf gleichem Niveau. Für das dritte Quartal erwartet ASML mit 7,7 bis 7,9 Milliarden Euro ebenfalls wieder diese Marke.

Die Unwissenheit beim Thema Zölle sorgt offenbar für eine gewisse Zurückhaltung bei den Chipherstellern, welche die Belichtungssysteme bei ASML bestellen. Dennoch konnte das niederländische Unternehmen etwa 5,5 Milliarden Euro an Neubestellungen im vergangenen Quartal einsammeln – eine Steigerung gegenüber dem vorherigen Quartal mit 3,9 Milliarden Euro.

Für die kommenden Jahre wird das Upgrade von EUV auf High-NA EUV eine wichtige Rolle spielen. Die ersten Twinscan-EXE:5200-Testsysteme für diese Belichtung gingen bereits an das imec, Intel und wohl auch TSMC. Die erste Generation der Produktionssysteme Twinscan EXE:5200B geht nun an erste Kunden. ASML hat nach eigenen Angaben einen ersten Twinscan EXE:5200B ausgeliefert. Das System soll bei 50 mJ/cm² mehr als 175 Wafer pro Stunde belichten können und kostet etwa 400 Millionen Euro. In den kommenden Jahren wird die EXE:5000-Serie dann um Weiterentwicklungen ergänzt, die vor allem für einen höheren Durchsatz und damit eine höhere Produktivität sorgen sollen.

Wenn ihr euch näher mit dem Thema High-NA EUV, den Vor- und Nachteilen beschäftigen wollt, dann schaut gerne in unserem Artikel dazu nach.

ASML liefert allerdings nicht nur ein erstes High-NA-EUV-Produktivsystem aus, sondern die Kunden haben auch Upgrade-Zyklen für bestehende EUV- und DUV-Systeme. So ersetzen die EUV-Systeme NXE:3800E nach und nach die älteren NXE:3800B/C/D-Varianten. Statt 160 Wafer pro Stunde können die neuen Systeme 220 Wafer pro Stunde belichten – eine massive Steigerung in der Produktivität. Selbst die EUV-Systeme sind teuer, sodass ein Upgrade sich über den Durchsatz lohnen muss.

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