Halbleiternews: imec bekommt EXE 5200B und Intel eröffnet Packaging-Komplex

[HWL News Bot]

Das Forschungsinstitut imec mit Sitz im belgischen Leuven hat heute bekannt gegeben, dass man mit der Installation des ersten Twinscan EXE:5200B begonnen hat. Bei diesem Belichtungsscanner handelt es sich um die neueste Generation für eine Belichtung mittels EUV mit hoher numerischer Apertur (High NA). Weitere Details zu 0.55 High NA findet ihr in einem gesonderten Artikel.
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