ASML und Intel: Erster TWINSCAN EXE:5200B mit höherer Genauigkeit und Durchsatz installiert

[HWL News Bot]

ASML und Intel geben bekannt, dass man gemeinsam den ersten TWINSCAN EXE:5200B installiert und in Betrieb genommen hat. Intel war der erste Kunde, der einen TWINSCAN EXE:5000 der ersten Generation erhalten hat. In der D1X-Fab in Hillsboro, im US-Bundesstaat Oregon, steht dieser erste High-NA-EUV-Scanner nun seit fast zwei Jahren und wird hier zur Entwicklung zukünftiger Fertigungstechnologien genutzt. Ein erster Prozess, der High-NA EUV verwenden könnte, ist Intel 14A. Laut Intel ist Intel 14A derart ausgelegt, dass sowohl High-NA EUV (0,55 NA) als auch Low-NA EUV (0,33 NA) zum Einsatz gebracht werden können.
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[Bitmaschine]

Schon brachial. Da mal auf Fehlersuche gehen ...

 

[~DeD~]

Schon brachial. Da mal auf Fehlersuche gehen ...

Ist weniger kompliziert als man glauben mag. Alles ist mit Sensoren vollgestoppft und jeder quadratmillimeter wird überwacht.

 

[n3cron]

Schon brachial. Da mal auf Fehlersuche gehen ...

Ich denke sowas empfindliches wird so durchdacht werden das Fehler schneller gefunden werden. Anders als bei Autos oder anderen Weg werf Produkten sind diese Dinger gebaut maximal ewig zu halten. Sie sterben natürlich, wenn sie durch bessere ersetzt werden.

Ich schätze es ist modular gebaut. Wir haben auch Roboter Fertigung und dort sind Diagnostiken zwar auch komplex, aber es lässt sich leichter einkreisen weil es Abhängigkeiten gibt. Erst wenn Modul A sein okay gibt startet Modul B, so lange Modul A nicht durchstartet muss erst der Fehler dort behoben werden... das schränkt initial erstmal Fehler auf Zonen.

 

[Bitmaschine]

Ist weniger kompliziert als man glauben mag. Alles ist mit Sensoren vollgestoppft und jeder quadratmillimeter wird überwacht.

Ich denke sowas empfindliches wird so durchdacht werden das Fehler schneller gefunden werden. Anders als bei Autos oder anderen Weg werf Produkten sind diese Dinger gebaut maximal ewig zu halten. Sie sterben natürlich, wenn sie durch bessere ersetzt werden.

Ich schätze es ist modular gebaut. Wir haben auch Roboter Fertigung und dort sind Diagnostiken zwar auch komplex, aber es lässt sich leichter einkreisen weil es Abhängigkeiten gibt. Erst wenn Modul A sein okay gibt startet Modul B, so lange Modul A nicht durchstartet muss erst der Fehler dort behoben werden... das schränkt initial erstmal Fehler auf Zonen.

Das denke ich schon auch, dass überall modulare Sensoren sind und die Fehlersuche/Überwachung in Cluster und Untercluster aufgeteilt ist. Entsprechende Programme überwachen das System und Fehlerprozeduren grenzen sicher im Detail Probleme ein. Trotzdem brachial diese Maschine, was sicher Jahrzehnte benötigte, um auf dem aktuellen Level zu kommen. Ich denke, da steckt extrem viel Expertise und Erfahrung drin, um Fehler auf das Minimalste zu reduzieren. Gut, gegen Materialermüdung gibt es keinen heiligen Gral. Ich kann mir auch gut vorstellen, dass bei Defekten gleich Module ausgetauscht werden, wenn der Aufwand oder Reparatur zu hoch wäre. Letztendlich bedeutet ein Stillstand auch einen hohen Produktionsverlust. Ich denke, nicht ohne Grund haben die einen recht stolzen Preis. Wäre ich mal gerne mal beim Aufbau und Testlauf dabei.