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Halbleiterfertigung: ASML liefert 23 EUV-Lithographiesysteme aus

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nanotube-chipASML ist einer der größten Hersteller von Maschinen für die Chipproduktion. Aktuelle Geräte setzen dabei auf die EUV-Technik, um die Chips mit extrem ultra-violetten Licht zu belichten. Unter anderem nutzt TSMC diese Technik, um seine neusten Chips N7+ zu produzieren. Auch Intel soll vermehrt Systeme bestellt haben bzw. bestellen wollen, um die Fertigung in 7 nm aufzubauen.

Wie ASML nun meldet, hat man insgesamt 23 neue EUV-Maschinen an Chiphersteller ausgeliefert. Damit scheint die Nachfrage nach der neusten Produktionstechnik für Chips immer weiter anzusteigen. Zu den Kunden gehören neben TSMC auch Intel oder Samsung. Durch den Einsatz von EUV wird es den Herstellern ermöglicht, noch feinere Strukturbreiten zu erreichen. Dies führt einerseits zu einer Steigerung der Leistung und gleichzeitig wird auch die Energieeffizienz erhöht.

Laut ASML wurden durch den Verkauf der 23 EUV-Belichter ein Umsatz von 5 Milliarden Euro erwirtschaftet. Auch der Ausblick sei laut dem Unternehmen mehr als positiv. Denn im kommenden Jahr sollen noch weitere 35 Produktionsmaschinen ausgeliefert werden, was den Umsatz nochmals kräftig ankurbeln dürfte.

Die EUV-Technik wird derzeit allerdings nicht für die Produktion des kompletten Chips genutzt. Aktuell werden nur einzelne Schichten mithilfe des extrem ultra-violetten Lichtes belichtet. Zukünftig möchte man die Produktion komplett auf EUV umstellen und damit die Chips noch effizienter und leistungsstärker gestalten.Dies gilt sowohl für mobile Prozessoren wie SoCs, aber auch bei DRAM soll zukünftig EUV zum Einsatz kommen.

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