Twinscan
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ASML und Intel: Erster TWINSCAN EXE:5200B mit höherer Genauigkeit und Durchsatz installiert
ASML und Intel geben bekannt, dass man gemeinsam den ersten TWINSCAN EXE:5200B installiert und in Betrieb genommen hat. Intel war der erste Kunde, der einen TWINSCAN EXE:5000 der ersten Generation erhalten hat. In der D1X-Fab in Hillsboro, im US-Bundesstaat Oregon, steht dieser erste High-NA-EUV-Scanner nun seit fast zwei Jahren und wird hier zur Entwicklung zukünftiger Fertigungstechnologien genutzt. Ein erster Prozess, der High-NA EUV... [mehr] -
Für 3 und 2 nm: ASML liefert ersten Twinscan NXE:3800E mit mehr Durchsatz aus
Auch wenn sich derzeit vieles auf die ersten High-NA-EUV-Systeme konzentriert, von denen ASML das erste im Dezember an Intel lieferte, so werden in den kommenden Jahren noch viele "klassische" EUV-Systeme vom niederländischen Hersteller an die Chiphersteller ausgeliefert werden. Per Social-Media hat man nun verkündet, dass der erste TWINSCAN NXE:3800E in einer Chipfabrik, die nicht näher genannt wird, installiert wurde. Beim TWINSCAN... [mehr]
