ASML will ab kommenden Jahr deutlich mehr EUV-Systeme ausliefern

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asmlDie Knappheit bei den Halbleiterbauelementen hat dazu geführt, dass nahezu alle Chiphersteller in den kommenden Jahren ihre Volumina stark erhöhen wollen. Entsprechend gehören die Zulieferer dieser Unternehmen zu den großen Gewinnern in dieser Situation. Das niederländische Unternehmen ASML ist quasi ein Monopolist wenn es um Lithografiesysteme geht - vor allem bei solchen, die im EUV-Bereich (extrem-ultraviolett) mit einer Lichtwellenlänge von nur 13,5 nm arbeiten.

Der Ausrüster hat heute sein finanzielles Ergebnis für das zweite Quartal 2021 veröffentlicht und gibt darin auch einen interessanten Einblick in die aktuelle Situation. So sind der Umsatz (4,02 Milliarden Euro) und Gewinn (1,038 Milliarden Euro) im Vergleich zum vorherigen Quartal zwar leicht zurückgegangen, für die kommenden Quartale rechnet ASML aber mit mehr ausgelieferten Systemen und somit einem deutlich höheren Umsatz. Insgesamt hat man 69 Lithografiesysteme ausgeliefert, vier weniger als in den drei Monaten zuvor. 

Aber auch wenn Umsatz und Gewinn leicht rückläufig waren, hat ASML mehr als volle Auftragsbücher und kommt kaum mit den Auslieferung hinterher. Inzwischen soll sich ein Auftragsvolumen von 8,271 Milliarden Euro angesammelt haben. Im erste Quartal hatte man noch nur Aufträge im Wert von 4,74 Milliarden Euro in den Büchern. Alleine im EUV-Bereich ist ein Auftragsvolumen von 4,9 Milliarden Euro hinzugekommen. Dies zeigt sehr deutlich, in welchen Größenordnungen die Fertiger aktuell bei ASML bestellen. Zu den Kunden der EUV-Systeme zählen aber nicht mehr nur Intel, TSMC oder Samsung, sondern vermehrt auch Speicherhersteller, wo neben Samsung auch SK Hynix ein Großkunde ist. Damit währen die kommenden zwei Quartale bereits an Aufträgen abgedeckt, doch es kommen immer wieder weitere Aufträge hinzu.

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Im aktuellen Jahr könnte ASML auf 32 bis 35 EUV-Systeme kommen, die neu ausgeliefert werden. Für 2022 peilt ASML 55 Auslieferungen an und ab 2023 sollen es dann mindestens 60 sein. Noch immer wird dies aber nur ein Bruchteil des Gesamtvolumens sein. Alleine im zweiten Quartal 2021 lieferte ASML 72 Lithografiesysteme aus – nur neun davon arbeiten mit EUV. Durchschnittlich kostet ein Lithografiesystem etwa 145 Millionen Euro. Sollen Wafer per EUV belichtet werden, bewegen wir uns eher im Bereich von 180 bis 200 Millionen Euro.

Eines der neuen Systeme ist dabei das TWINSCAN NXE:3600D, welches gegenüber dem TWINSCAN NXE:3400C eine Weiterentwicklung darstellt und 15 bis 20 % mehr Wafervolumen belichten kann. Das neue Modell kommt demnach auf 180 Siliziumwafer pro Stunde und ein möglichst hoher Output ist das, was in der aktuellen Zeit gefragt ist. Bestehende Systeme wie das TWINSCAN NXT:2000i konnte man bei einem Kunden auf einen Ausstoß von 6.300 Wafern pro Tag bringen (etwa 263 Wafer pro Stunde). Ein NXT:2000i arbeitet aber nicht im EUV-, sondern im langwelligeren DUV-Bereich.

Auch nach der Belichtung muss die Fertigung schneller und effektiver werden. In diesem Zusammenhang stellt ASML den YieldStar 1385 vor, der genauer und um 50 % schneller die Ausbeute des Wafers bestimmen kann. 

Für das dritte Quartal erwartet ASML einen Umsatz zwischen 5,2 und 5,4 Milliarden Euro, also eine deutliche Steigerung gegenüber dem nun gemeldeten Quartal. Die Jahresprognose hebt der Ausrüster um 30 bis 35 % an. Besonders der Speichermarkt scheint noch einmal Neubestellungen im großen Umfang zu planen, denn hier soll das Wachstum 60 % betragen.